干式螺桿真空泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為1Torr（1.3mbara），極限真空可達0.01Torr（0.013mbara）在運轉過程中沒有油或水，泵腔無部分接觸，短氣通道可以使泵迅速排放，直接驅動或V皮帶有加長的轉子，操作安靜低于85分貝。干式螺桿真空泵腔內完全無水無油，直通氣路設計，該系列泵都可以處理含可凝性蒸氣的氣體和含微小顆粒而不會殘留在泵內的氣體。因此其主要特點有:

（1）沒有油或水和過程氣體接觸

（2）運行部件之間無金屬相互接觸

（3）簡單緊固的設計可以處理工作時產生的副產品——液體，冷凝物甚至微小顆粒

（4）節省空間的設計除去了防護裝置的需要

（5）泵內氣通道較短，氣體排放更迅速

（6）即使不使用消音裝置，噪音也低于90dB(A)

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